°ëµ¼Ìå¹«Ë¾Ò»Ö±ÃæÁÙÖØ´óµÄ¼¯³ÉÌôÕ½£¬£¬ÓÉÓÚÏûºÄÕßÏ£ÍûËûÃǵĵç×Ó²úÆ·Ìå»ý¸üС¡¢¡¢ËÙÂʸü¿ì¡¢¡¢ÐÔÄܸü¸ß£¬£¬²¢½«¸ü¶à¹¦Ð§¼¯³Éµ½µ¥²¿×°±¸ÖС£¡£¡£°ëµ¼Ìå·â×°¹ØÓÚ½â¾öÕâЩÌôÕ½¾ßÓÐÖØ´óÓ°Ïì¡£¡£¡£Ä¿½ñºÍδÀ´¹ØÓÚÌá¸ßϵͳÐÔÄÜ¡¢¡¢ÔöÌí¹¦Ð§¡¢¡¢½µµÍ¹¦ºÄ¡¢¡¢ËõСÐÎ×´³ß´çµÄÒªÇ󣬣¬ÐèÒªÒ»ÖÖ±»³ÆÎªÏµÍ³¼¯³ÉµÄÏȽø·â×°ÒªÁì¡£¡£¡£
ϵͳ¼¯³É¿É½«¶à¸ö¼¯³Éµç· (IC) ºÍÔªÆ÷¼þ×éºÏµ½µ¥¸öϵͳ»òÄ£¿£¿é»¯×ÓϵͳÖУ¬£¬ÒÔʵÏÖ¸ü¸ßµÄÐÔÄÜ¡¢¡¢¹¦Ð§ºÍ´¦ÀíËÙÂÊ£¬£¬Í¬Ê±´ó·ù½µµÍµç×ÓÆ÷¼þÄÚ²¿µÄ¿Õ¼äÒªÇ󡣡£¡£
º¸ÏßÐγÉоƬÓë»ù²Ä¡¢¡¢»ù²ÄÓë»ù²ÄÖ®¼äµÄ»¥Á¬¡£¡£¡£
º¸Ïß±»ÆÕ±éÊÓΪԽ·¢¾¼Ã¸ßЧºÍÎÞаµÄ»¥Á¬ÊÖÒÕ£¬£¬ÏÖÔÚÓÃÓÚ×é×°¾ø´ó´ó¶¼µÄ°ëµ¼Ìå·â×°¡£¡£¡£
ÔÚµ¹×°Ð¾Æ¬·â×°ÖУ¬£¬Ð¾Æ¬Ê¹Óú¸½Ó͹¿é¶ø·Çº¸ÏßÖ±½ÓÀο¿ÔÚ»ù²ÄÉÏ£¬£¬µ¹×°Ð¾Æ¬·â×°¿ÉʵÏÖ¸ßÃܶȵĻ¥Á¬£¬£¬¾ßÓÐºÜ¸ßµÄµçÆøÐÔÄܺÍÈÈÐÔÄÜ¡£¡£¡£µ¹×°Ð¾Æ¬»¥Á¬ÊµÏÖÁËоƬÓë·â×°±ÈÀýµÄ΢ÐÍ»¯£¬£¬ïÔÌÁË·â×°¼ÄÉúЧӦ£¬£¬²¢ÇÒʵÏÖÁËÆäËû¹Å°å·â×°ÒªÁìÎÞ·¨ÊµÏÖµÄоƬ¹¦ÂÊ·ÖÅäºÍµØÏß·ÖÅäÐÂģʽ¡£¡£¡£
¾§Ô²Í¹¿éÊÖÒÕ¿ÉÔÚ°ëµ¼Ìå·â×°ÖÐÌṩÏÔÖøµÄÐÔÄÜ¡¢¡¢ÐÎ×´³ß´çºÍ×ۺϱ¾Ç®ÓÅÊÆ¡£¡£¡£
µ±½ñµÄÏûºÄÕßÕýÔÚѰÕÒÐÔÄÜǿʢµÄ¶à¹¦Ð§µç×Ó×°±¸£¬£¬ÕâЩװ±¸²»µ«ÒªÌṩǰËùδÓеÄÐÔÄܺÍËÙÂÊ£¬£¬»¹Òª¾ßÓÐСÇɵÄÌå»ýºÍµÍÁ®µÄ±¾Ç®¡£¡£¡£Õâ¸ø°ëµ¼ÌåÖÆÔìÉÌ´øÀ´ÁËÖØ´óµÄÊÖÒÕºÍÖÆÔìÌôÕ½£¬£¬ËûÃÇÊÔͼѰÕÒеÄÒªÁ죬£¬ÔÚСÌå»ý¡¢¡¢µÍ±¾Ç®µÄÆ÷¼þÖÐÌṩ¸ü¾«²ÊµÄÐÔÄܺ͹¦Ð§¡£¡£¡£¾§Ô²¼¶·â×°×÷ΪһÖÖÏȽøµÄ°ëµ¼Ìå·â×°ÊÖÒÕ£¬£¬±»ÆÕ±éÓ¦ÓÃÔÚ´æ´¢Æ÷¡¢¡¢´«¸ÐÆ÷¡¢¡¢¹¦ÂÊÆ÷¼þµÈ¶Ô³ß´çºÍ±¾Ç®ÒªÇó½Ï¸ßµÄÁìÓòÖУ¬£¬Öª×ãÏÖ´ú¶Ôµç×Ó×°±¸µÄСÐÍ»¯¡¢¡¢¶à¹¦Ð§¡¢¡¢µÍ±¾Ç®ÐèÇ󣬣¬Îª°ëµ¼ÌåÖÆÔìÉÌÌṩÁËÁ¢ÒìµÄ½â¾ö·½°¸¡£¡£¡£
°ëµ¼Ìå¹«Ë¾Ò»Ö±ÃæÁÙÖØ´óµÄ¼¯³ÉÌôÕ½£¬£¬ÓÉÓÚÏûºÄÕßÏ£ÍûËûÃǵĵç×Ó²úÆ·Ìå»ý¸üС¡¢¡¢ËÙÂʸü¿ì¡¢¡¢ÐÔÄܸü¸ß£¬£¬²¢½«¸ü¶à¹¦Ð§¼¯³Éµ½µ¥²¿×°±¸ÖС£¡£¡£°ëµ¼Ìå·â×°¹ØÓÚ½â¾öÕâЩÌôÕ½¾ßÓÐÖØ´óÓ°Ïì¡£¡£¡£Ä¿½ñºÍδÀ´¹ØÓÚÌá¸ßϵͳÐÔÄÜ¡¢¡¢ÔöÌí¹¦Ð§¡¢¡¢½µµÍ¹¦ºÄ¡¢¡¢ËõСÐÎ×´³ß´çµÄÒªÇ󣬣¬ÐèÒªÒ»ÖÖ±»³ÆÎªÏµÍ³¼¯³ÉµÄÏȽø·â×°ÒªÁì¡£¡£¡£
ϵͳ¼¯³É¿É½«¶à¸ö¼¯³Éµç· (IC) ºÍÔªÆ÷¼þ×éºÏµ½µ¥¸öϵͳ»òÄ£¿£¿é»¯×ÓϵͳÖУ¬£¬ÒÔʵÏÖ¸ü¸ßµÄÐÔÄÜ¡¢¡¢¹¦Ð§ºÍ´¦ÀíËÙÂÊ£¬£¬Í¬Ê±´ó·ù½µµÍµç×ÓÆ÷¼þÄÚ²¿µÄ¿Õ¼äÒªÇ󡣡£¡£
Ëæ×ÅÏûºÄÕß¶ÔÄܹ»ÊµÏÖ´«¸Ð¡¢¡¢Í¨Ñ¶¡¢¡¢¿ØÖÆÓ¦ÓõÄÖÇÄÜ×°±¸µÄÐèÇóÈÕÒæÔöÌí£¬£¬MEMS ºÍ´«¸ÐÆ÷ÒòÆä¸ßѸËÙ¶È¡¢¡¢³¬Ð¡µÄ³ß´çºÍ¸üÇᱡµÄÐÎ×´£¬£¬ÕýÔÚ³ÉΪһÖÖºÜÊÇÒªº¦µÄ·â×°²úÆ·¡£¡£¡£MEMS ºÍ´«¸ÐÆ÷¿ÉÆÕ±éÓ¦ÓÃÓÚͨѶ¡¢¡¢ÏûºÄ¡¢¡¢Ò½ÁÆ¡¢¡¢¹¤ÒµºÍÆû³µµç×ÓµÄÖÚ¶àϵͳÖС£¡£¡£
ÔÚ¹¦Âʼ°Ä£Äâ°ëµ¼ÌåÆ÷¼þÖÆÔì·½Ãæ£¬£¬pgµç×ӿƼ¼ÓµÓи»ºñµÄ¾§Ô²´¦Àí¡¢¡¢ÏȽø½á¹¹ÒÔ¼°¸ßÎÂ˳ÈÈÀ©É¢ÖÊÁϵȷ½ÃæµÄÂÄÀú¡£¡£¡£
pgµç×ӿƼ¼ÔÚÏȽø·â×°ÁìÓò´òÔì³öÌìÏÂÒ»Á÷µÄÊÖÒÕˮƽºÍ´ó¹æÄ£Á¿²úÄÜÁ¦µÄͬʱ£¬£¬ÔÚÖ÷Á÷·â×°ÊÖÒÕµÄÏȽø»¯¡¢¡¢¸ßÐÔÄÜ»¯·½Ã棬£¬Í¨¹ýÁ¢Ò칤Òչܿء¢¡¢ÐͬÉè¼ÆµÈÊÖ¶ÎÒ»Ö±¾«½ø£¬£¬ÌáÉýÊÖÒյĿɿ¿ÐÔ£¬£¬½µµÍ²úÆ·±¾Ç®£¬£¬ÍØÕ¹ÊÖÒÕµÄÓ¦ÓýçÏß¡£¡£¡£